Solventum의 Purification & Filtration사업은 Thermo Fisher Scientific과 함께하게 되었습니다. 다만 정수 필터 사업은 Solventum에서 변함없이 이어집니다. 더 많은 정보는 여기에서 확인해 주세요.
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제품 정보
3M™ Betapure™ AUL 시리즈 필터 카트리지는 개선된 수율을 위해 파티클 수의 탁월한 여과를 제공하는 차세대 CMP(Chemical Mechanical Planarization) 슬러리 여과 필터로, 수율 개선을 위해 Large 파티클의 수를 크게 줄입니다. 가장 진보된 CMP 공정에서 LPC(Large Particle Count) 여과 및 수율 향상을 가능하게 하는 멀티 레이어 여과층이 있는 Bi-component 섬유 기술을 특징으로 합니다.
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| 제품명 | 제품 ID | 길이 | 길이(미터) | 직경 | 사이즈 | 제품 구분 | 수정 종료 | 미크론 등급 | 필터 유형 | 필터 기술 | 산업 | 제품 시리즈 | 브랜드 | 카테고리 이름 |
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
|
제품 ID 7100315987 |
길이 20 in |
길이(미터) 50.8 cm |
직경 2.56 in |
사이즈 65 mm |
제품 구분 필터 카트리지 |
수정 종료 - |
미크론 등급 0.05 μm |
필터 유형 - |
필터 기술 - |
산업 제조,마이크로 전자,반도체 제조 |
제품 시리즈 - |
브랜드 Betapure™ |
카테고리 이름 원통형 심층 여과 필터 |
|
|
제품 ID 7100212353 |
길이 2 in |
길이(미터) 50.8 mm |
직경 2.92 in |
사이즈 74.168 mm |
제품 구분 - |
수정 종료 222/Flat Cap |
미크론 등급 0.006 μm |
필터 유형 - |
필터 기술 - |
산업 제조,마이크로 전자,반도체 제조 |
제품 시리즈 AUL |
브랜드 Betapure™ |
카테고리 이름 원통형 심층 여과 필터 |
|
|
제품 ID 7100212302 |
길이 - |
길이(미터) - |
직경 2.92 in |
사이즈 74.168 mm |
제품 구분 - |
수정 종료 222/Flat Cap |
미크론 등급 0.05 μm |
필터 유형 - |
필터 기술 - |
산업 제조,마이크로 전자,반도체 제조 |
제품 시리즈 AUL |
브랜드 Betapure™ |
카테고리 이름 원통형 심층 여과 필터 |
|
|
제품 ID 7100205642 |
길이 2 in |
길이(미터) 50.8 mm |
직경 2.92 in |
사이즈 74.168 mm |
제품 구분 - |
수정 종료 222/Flat Cap |
미크론 등급 0.007 μm |
필터 유형 - |
필터 기술 - |
산업 제조,마이크로 전자,반도체 제조 |
제품 시리즈 AUL |
브랜드 Betapure™ |
카테고리 이름 원통형 심층 여과 필터 |
|
|
제품 ID 7100180218 |
길이 10 in |
길이(미터) 25.4 cm |
직경 2.5 in |
사이즈 6.35 cm |
제품 구분 - |
수정 종료 222/Flat Cap |
미크론 등급 0.05 μm |
필터 유형 깊이 |
필터 기술 부직포 |
산업 제조,마이크로 전자,반도체 제조 |
제품 시리즈 AUL |
브랜드 Betapure™ |
카테고리 이름 원통형 심층 여과 필터 |
|
|
제품 ID 7100179956 |
길이 20 in |
길이(미터) 50.8 cm |
직경 2.92 in |
사이즈 7.42 cm |
제품 구분 - |
수정 종료 222/Flat Cap |
미크론 등급 0.05 μm |
필터 유형 깊이 |
필터 기술 부직포 |
산업 제조,마이크로 전자,반도체 제조 |
제품 시리즈 AUL |
브랜드 Betapure™ |
카테고리 이름 원통형 심층 여과 필터 |
|
|
제품 ID 7100179273 |
길이 20 in |
길이(미터) 50.8 cm |
직경 2.92 in |
사이즈 7.42 cm |
제품 구분 - |
수정 종료 222/Flat Cap |
미크론 등급 50 μm |
필터 유형 깊이 |
필터 기술 부직포 |
산업 제조,마이크로 전자,반도체 제조 |
제품 시리즈 AUL |
브랜드 Betapure™ |
카테고리 이름 원통형 심층 여과 필터 |
|
|
제품 ID 7100179211 |
길이 10 in |
길이(미터) 25.4 cm |
직경 2.92 in |
사이즈 7.42 cm |
제품 구분 - |
수정 종료 222/Flat Cap |
미크론 등급 0.05 μm |
필터 유형 깊이 |
필터 기술 부직포 |
산업 제조,마이크로 전자,반도체 제조 |
제품 시리즈 AUL |
브랜드 Betapure™ |
카테고리 이름 원통형 심층 여과 필터 |
|
|
제품 ID 7012789454 |
길이 10 in |
길이(미터) 25.4 cm |
직경 2.56 in |
사이즈 65 mm |
제품 구분 필터 카트리지 |
수정 종료 - |
미크론 등급 0.05 μm |
필터 유형 - |
필터 기술 - |
산업 제조,마이크로 전자,반도체 제조 |
제품 시리즈 - |
브랜드 Betapure™ |
카테고리 이름 원통형 심층 여과 필터 |
|
|
제품 ID 7012789453 |
길이 30 in |
길이(미터) 76.2 cm |
직경 - |
사이즈 - |
제품 구분 - |
수정 종료 - |
미크론 등급 - |
필터 유형 - |
필터 기술 - |
산업 제조,마이크로 전자,반도체 제조 |
제품 시리즈 AUL |
브랜드 Betapure™ |
카테고리 이름 원통형 심층 여과 필터 |
|
|
제품 ID 7012789452 |
길이 20 in |
길이(미터) 50.8 cm |
직경 - |
사이즈 - |
제품 구분 - |
수정 종료 - |
미크론 등급 - |
필터 유형 - |
필터 기술 - |
산업 제조,마이크로 전자,반도체 제조 |
제품 시리즈 AUL |
브랜드 Betapure™ |
카테고리 이름 원통형 심층 여과 필터 |
|
|
제품 ID 7010692412 |
길이 2 in |
길이(미터) 5.08 cm |
직경 - |
사이즈 - |
제품 구분 정화통 |
수정 종료 - |
미크론 등급 0.5 μm |
필터 유형 - |
필터 기술 - |
산업 제조,마이크로 전자,반도체 제조 |
제품 시리즈 AU |
브랜드 Betapure™ |
카테고리 이름 원통형 심층 여과 필터 |
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제품 ID 7010339222 |
길이 10 in |
길이(미터) 25.4 cm |
직경 - |
사이즈 - |
제품 구분 필터 카트리지 |
수정 종료 - |
미크론 등급 0.7 μm |
필터 유형 - |
필터 기술 - |
산업 제조,마이크로 전자,반도체 제조 |
제품 시리즈 - |
브랜드 Betapure™ |
카테고리 이름 원통형 심층 여과 필터 |
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제품 ID 7010303354 |
길이 20 in |
길이(미터) 50.8 cm |
직경 - |
사이즈 - |
제품 구분 필터 카트리지 |
수정 종료 - |
미크론 등급 0.7 μm |
필터 유형 - |
필터 기술 - |
산업 제조,마이크로 전자,반도체 제조 |
제품 시리즈 - |
브랜드 Betapure™ |
카테고리 이름 원통형 심층 여과 필터 |
제품 세부 정보
- CMP 슬러리 여과를 위해 설계된 필터
- 선택적 다층 여과를 위한 Bi-component 섬유 기술은 LPC(Large Particle Count) 여과를 가능케 합니다
- 견고한 필터 구조는 간헐적 운전 공정 조건에서도 기공 크기를 유지하여 일관된 필터을 제공합니다.
- 수율 개선을 위해 Large 파티클의 수를 크게 줄입니다
제품 사양
| MicronRating |
MicronRating
0.05 μm, 0.007 μm, 0.7 μm, 50 μm |
| 길이(미터) |
길이(미터)
25.4 cm, 50.8 cm, 76.2 cm, 50.8 mm, 5.08 cm |
| 직경 |
직경
2.92 in, 2.56 in, 2.5 in |
| 수정 종료 |
수정 종료
222/Flat Cap |
| 카테고리 이름 |
카테고리 이름
원통형 심층 여과 필터 |
| ProductType |
ProductType
필터 카트리지 |
| 길이 |
길이
10 in, 20 in, 30 in, 2 in |
| OverallDiameterImperial |
OverallDiameterImperial
2.92 in, 2.56 in |
| 브랜드 |
브랜드
Betapure™ |
| 사이즈 |
사이즈
7.42 cm, 65 mm, 74.168 mm, 6.35 cm |
| 산업 |
산업
제조,마이크로 전자,반도체 제조 |
| Legacy SKU |
Legacy SKU
70020330075, 70020348895, XA006477542, XA006477534, 70020348945, XA006474382, 70020330083, 70020348853, 70020348838, 70020351584, JN722029806 |
| categoryName |
categoryName
원통형 심층 여과 필터 |
| Global Catalog Number |
Global Catalog Number
AUL10Z13UC007, AUL20Z15UCSF5, AUL10Z15FCSF5, AU30Z15FCSF6, AUL02Z13VC007, AU20Z15FCSF6, AU10Z15UCSF6, AUL20Z15FCSF5-DG2, AUL20Z13UC007, AU02Z15FCSF6, AUL02Z15VCSF5 |
| OverallLengthMetric |
OverallLengthMetric
50.8 cm |
| 미크론 등급 |
미크론 등급
0.7 μm, 0.05 μm, 0.006 μm, 0.5 μm |
| 필터 유형 |
필터 유형
깊이 |
| 제품 구분 |
제품 구분
필터 카트리지, 정화통 |
| GLBL_CAT_NBR |
GLBL_CAT_NBR
AU02Z13FC050 |
| ProductSeries |
ProductSeries
AUL |
| 제품 시리즈 |
제품 시리즈
AUL |
| 필터 기술 |
필터 기술
부직포 |
| LEGACY_SKU_NO |
LEGACY_SKU_NO
XA006477575, 70020351220, 70020351592 |
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