3M™ Betapure™ AUL 시리즈 필터 카트리지
Solventum의 Purification & Filtration사업은 Thermo Fisher Scientific과 함께하게 되었습니다. 다만 정수 필터 사업은 Solventum에서 변함없이 이어집니다. 더 많은 정보는 여기에서 확인해 주세요.
제품 정보
3M™ Betapure™ AUL 시리즈 필터 카트리지는 개선된 수율을 위해 파티클 수의 탁월한 여과를 제공하는 차세대 CMP(Chemical Mechanical Planarization) 슬러리 여과 필터로, 수율 개선을 위해 Large 파티클의 수를 크게 줄입니다. 가장 진보된 CMP 공정에서 LPC(Large Particle Count) 여과 및 수율 향상을 가능하게 하는 멀티 레이어 여과층이 있는 Bi-component 섬유 기술을 특징으로 합니다.
제품 세부 정보
- CMP 슬러리 여과를 위해 설계된 필터
- 선택적 다층 여과를 위한 Bi-component 섬유 기술은 LPC(Large Particle Count) 여과를 가능케 합니다
- 견고한 필터 구조는 간헐적 운전 공정 조건에서도 기공 크기를 유지하여 일관된 필터을 제공합니다.
- 수율 개선을 위해 Large 파티클의 수를 크게 줄입니다
제품 사양
| Industries |
Industries
제조,마이크로 전자,반도체 제조 |
| OverallLengthImperial |
OverallLengthImperial
20 in |
| 직경 |
직경
2.56 in, 2.92 in, 2.5 in |
| 수정 종료 |
수정 종료
222/Flat Cap |
| OverallDiameterImperial |
OverallDiameterImperial
2.92 in, 2.56 in |
| 산업 |
산업
제조,마이크로 전자,반도체 제조 |
| categoryName |
categoryName
원통형 심층 여과 필터 |
| OverallLengthMetric |
OverallLengthMetric
25.4 cm |
| 필터 유형 |
필터 유형
깊이 |
| 제품 구분 |
제품 구분
필터 카트리지, 정화통 |
| ProductSeries |
ProductSeries
AUL |
| Trademark2 |
Trademark2
Betapure™ |
| 필터 기술 |
필터 기술
부직포 |
| MicronRating |
MicronRating
0.05 μm |
| 길이(미터) |
길이(미터)
25.4 cm, 50.8 cm, 76.2 cm, 50.8 mm, 5.08 cm |
| 카테고리 이름 |
카테고리 이름
원통형 심층 여과 필터 |
| ProductType |
ProductType
필터 카트리지 |
| 길이 |
길이
10 in, 30 in, 2 in, 20 in |
| 사이즈 |
사이즈
7.42 cm, 65 mm, 74.168 mm, 6.35 cm |
| EndModification |
EndModification
222/Flat Cap |
| 브랜드 |
브랜드
Betapure™ |
| Global Catalog Number |
Global Catalog Number
AUL10Z13UC007, AUL02Z13VC007, AU20Z15FCSF6, AUL20Z15FCSF5-DG2, AU02Z15FCSF6, AUL10Z15FCSF5, AUL02Z15VCSF5, AU02Z13FC050 |
| 미크론 등급 |
미크론 등급
0.7 μm, 0.05 μm, 0.007 μm, 50 μm, 0.006 μm, 0.5 μm |
| GLBL_CAT_NBR |
GLBL_CAT_NBR
AUL20Z15UCSF5, AUL10Z15FCSF5, AU30Z15FCSF6, AU10Z15UCSF6, AUL20Z13UC007 |
| FilterTechnology |
FilterTechnology
부직포 |
| 제품 시리즈 |
제품 시리즈
AUL |