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3M™ Betapure™ AUL 시리즈 필터 카트리지

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3M™ Betapure™ AUL 시리즈 필터 카트리지

제품 정보

3M™ Betapure™ AUL 시리즈 필터 카트리지는 개선된 수율을 위해 파티클 수의 탁월한 여과를 제공하는 차세대 CMP(Chemical Mechanical Planarization) 슬러리 여과 필터로, 수율 개선을 위해 Large 파티클의 수를 크게 줄입니다. 가장 진보된 CMP 공정에서 LPC(Large Particle Count) 여과 및 수율 향상을 가능하게 하는 멀티 레이어 여과층이 있는 Bi-component 섬유 기술을 특징으로 합니다.

제품 옵션

1-5 / 제품

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제품명 제품 ID 길이 길이(미터) 직경 사이즈 제품 구분 수정 종료 미크론 등급 필터 유형 필터 기술 산업 제품 시리즈 브랜드 카테고리 이름

제품 ID

7100315987

길이

20 in

길이(미터)

50.8 cm

직경

2.56 in

사이즈

65 mm

제품 구분

필터 카트리지

수정 종료

-

미크론 등급

0.05 μm

필터 유형

-

필터 기술

-

산업

제조,마이크로 전자,반도체 제조

제품 시리즈

-

브랜드

Betapure™

카테고리 이름

원통형 심층 여과 필터

제품 ID

7100212353

길이

2 in

길이(미터)

50.8 mm

직경

2.92 in

사이즈

74.168 mm

제품 구분

-

수정 종료

222/Flat Cap

미크론 등급

0.006 μm

필터 유형

-

필터 기술

-

산업

제조,마이크로 전자,반도체 제조

제품 시리즈

AUL

브랜드

Betapure™

카테고리 이름

원통형 심층 여과 필터

제품 ID

7100212302

길이

-

길이(미터)

-

직경

2.92 in

사이즈

74.168 mm

제품 구분

-

수정 종료

222/Flat Cap

미크론 등급

0.05 μm

필터 유형

-

필터 기술

-

산업

제조,마이크로 전자,반도체 제조

제품 시리즈

AUL

브랜드

Betapure™

카테고리 이름

원통형 심층 여과 필터

제품 ID

7100205642

길이

2 in

길이(미터)

50.8 mm

직경

2.92 in

사이즈

74.168 mm

제품 구분

-

수정 종료

222/Flat Cap

미크론 등급

0.007 μm

필터 유형

-

필터 기술

-

산업

제조,마이크로 전자,반도체 제조

제품 시리즈

AUL

브랜드

Betapure™

카테고리 이름

원통형 심층 여과 필터

제품 ID

7100180218

길이

10 in

길이(미터)

25.4 cm

직경

2.5 in

사이즈

6.35 cm

제품 구분

-

수정 종료

222/Flat Cap

미크론 등급

0.05 μm

필터 유형

깊이

필터 기술

부직포

산업

제조,마이크로 전자,반도체 제조

제품 시리즈

AUL

브랜드

Betapure™

카테고리 이름

원통형 심층 여과 필터

제품 ID

7100179956

길이

20 in

길이(미터)

50.8 cm

직경

2.92 in

사이즈

7.42 cm

제품 구분

-

수정 종료

222/Flat Cap

미크론 등급

0.05 μm

필터 유형

깊이

필터 기술

부직포

산업

제조,마이크로 전자,반도체 제조

제품 시리즈

AUL

브랜드

Betapure™

카테고리 이름

원통형 심층 여과 필터

제품 ID

7100179273

길이

20 in

길이(미터)

50.8 cm

직경

2.92 in

사이즈

7.42 cm

제품 구분

-

수정 종료

222/Flat Cap

미크론 등급

50 μm

필터 유형

깊이

필터 기술

부직포

산업

제조,마이크로 전자,반도체 제조

제품 시리즈

AUL

브랜드

Betapure™

카테고리 이름

원통형 심층 여과 필터

제품 ID

7100179211

길이

10 in

길이(미터)

25.4 cm

직경

2.92 in

사이즈

7.42 cm

제품 구분

-

수정 종료

222/Flat Cap

미크론 등급

0.05 μm

필터 유형

깊이

필터 기술

부직포

산업

제조,마이크로 전자,반도체 제조

제품 시리즈

AUL

브랜드

Betapure™

카테고리 이름

원통형 심층 여과 필터

제품 ID

7012789454

길이

10 in

길이(미터)

25.4 cm

직경

2.56 in

사이즈

65 mm

제품 구분

필터 카트리지

수정 종료

-

미크론 등급

0.05 μm

필터 유형

-

필터 기술

-

산업

제조,마이크로 전자,반도체 제조

제품 시리즈

-

브랜드

Betapure™

카테고리 이름

원통형 심층 여과 필터

제품 ID

7012789453

길이

30 in

길이(미터)

76.2 cm

직경

-

사이즈

-

제품 구분

-

수정 종료

-

미크론 등급

-

필터 유형

-

필터 기술

-

산업

제조,마이크로 전자,반도체 제조

제품 시리즈

AUL

브랜드

Betapure™

카테고리 이름

원통형 심층 여과 필터

제품 ID

7012789452

길이

20 in

길이(미터)

50.8 cm

직경

-

사이즈

-

제품 구분

-

수정 종료

-

미크론 등급

-

필터 유형

-

필터 기술

-

산업

제조,마이크로 전자,반도체 제조

제품 시리즈

AUL

브랜드

Betapure™

카테고리 이름

원통형 심층 여과 필터

제품 ID

7010692412

길이

2 in

길이(미터)

5.08 cm

직경

-

사이즈

-

제품 구분

정화통

수정 종료

-

미크론 등급

0.5 μm

필터 유형

-

필터 기술

-

산업

제조,마이크로 전자,반도체 제조

제품 시리즈

AU

브랜드

Betapure™

카테고리 이름

원통형 심층 여과 필터

제품 ID

7010339222

길이

10 in

길이(미터)

25.4 cm

직경

-

사이즈

-

제품 구분

필터 카트리지

수정 종료

-

미크론 등급

0.7 μm

필터 유형

-

필터 기술

-

산업

제조,마이크로 전자,반도체 제조

제품 시리즈

-

브랜드

Betapure™

카테고리 이름

원통형 심층 여과 필터

제품 ID

7010303354

길이

20 in

길이(미터)

50.8 cm

직경

-

사이즈

-

제품 구분

필터 카트리지

수정 종료

-

미크론 등급

0.7 μm

필터 유형

-

필터 기술

-

산업

제조,마이크로 전자,반도체 제조

제품 시리즈

-

브랜드

Betapure™

카테고리 이름

원통형 심층 여과 필터

제품 세부 정보

  • CMP 슬러리 여과를 위해 설계된 필터
  • 선택적 다층 여과를 위한 Bi-component 섬유 기술은 LPC(Large Particle Count) 여과를 가능케 합니다
  • 견고한 필터 구조는 간헐적 운전 공정 조건에서도 기공 크기를 유지하여 일관된 필터을 제공합니다.
  • 수율 개선을 위해 Large 파티클의 수를 크게 줄입니다

제품 사양

길이(미터)
길이(미터)

25.4 cm, 50.8 cm, 76.2 cm, 50.8 mm, 5.08 cm

직경
직경

2.92 in, 2.56 in, 2.5 in

수정 종료
수정 종료

222/Flat Cap

카테고리 이름
카테고리 이름

원통형 심층 여과 필터

길이
길이

10 in, 20 in, 30 in, 2 in

브랜드
브랜드

Betapure™

사이즈
사이즈

7.42 cm, 65 mm, 74.168 mm, 6.35 cm

산업
산업

제조,마이크로 전자,반도체 제조

미크론 등급
미크론 등급

0.7 μm, 0.05 μm, 0.007 μm, 50 μm, 0.006 μm, 0.5 μm

필터 유형
필터 유형

깊이

제품 구분
제품 구분

필터 카트리지, 정화통

제품 시리즈
제품 시리즈

AUL

필터 기술
필터 기술

부직포